セラミックウエハーは、高精度なサファイア基板を製造する経験をセラミックウエハー製造へと展開した、 半導体プロセスに最適なセラミックウエハーとして提供しております。素材に関係なく脱粒が少なく、高平坦な基板表面となっております。 各種素材に最適な工法にて素材へのダメージを最大限少なく加工しております。 加工後の測定・洗浄に関しても各種対応させて頂いておりますのでご相談下さい。 また、追加工(穴あけ・切断等)のご希望にも対応致しますのでご相談下さい。
Aluminium Nitride
窒化アルミ
Silicon Carbide
炭化珪素