
セッターとは
我々の生活のまわりにある、スマートフォンやPCなどの電子部品やガラス製品の多くには「焼成」という工程があります。セッターとは、その「焼成」の工程における、焼成炉の中で使用されている下敷き、棚板のことです。
Orbrayのサファイア製セッターは、従来のセラミックセッター(アルミナセッター)と比較して、形状変化がほとんどなく、不純物の発生問題を解決することができます。
サファイア製セッターの特徴
項目 | 仕様 | |
---|---|---|
寸法 | 100 × 100±0.5mm | 150 × 150±0.5mm |
厚さ | 1 ±0.5mm | |
反り | ≦20μm | ≦40μm |
面状態 | 両面梨地 Ra≦1μm |
変形(反り)がほとんどない
サファイアは単結晶で高温特性に優れているため、1500℃で繰り返しアニール処理しても反りがほとんど発生しません。
※アニール(アニーリング・焼鈍)とは・・・
熱を加えることによって製品の残留応力を取り除き、寸法精度を安定させたり、加工時の歪みなどの変形や割れを防いだりする熱処理のこと。
以下は、当社にてセラミックセッター(アルミナセッター)とサファイア製セッターとを常温から1200℃にて20回の温度昇降を繰り返し行った実験結果です。

不純物が混入しない
従来のセラミックセッター(アルミナセッター)では、原料として含まれるカルシア(CaO)やシリカ(SiO2)が不純物として発生することがあります。
サファイア製セッターは単結晶であり、化学的に安定しているため、不純物が発生せず、この問題を解決することができます。

例えば、ピザをオーブンで焼く際に、ピザを乗せるプレートが変形したら、ピザも変形してしまいます。また、プレートから不純物が発生したら、ピザに付着しておいしくなくなってしまいますね。
これは、焼成炉のセッターでも、同じです。セッターに不具合が生じれば、製品にも不具合が生じてしまいます。
Orbrayが取り扱うサファイア製セッターであれば、変形することなく、不純物等の成分が出てこないため、セッターを取り換える手間が省け、時間的にもコスト的にもメリットがあります。
耐薬品性
サファイア製セッターは、化学的に非常に安定でほとんどの酸やアルカリに侵されることがありません。
問題解決1:材料費、工程削減に貢献
【スパッタリングターゲット製造メーカー様】

【顧客課題】
酸化物ターゲットの熱処理(アニール)の際にセラミックセッター(アルミナセッター)が変形して困っている。
セッターが変形して酸化物ダーゲットも一緒に変形してしまうため、実際は厚さ5mmでいいのに、仕方なく厚さ10mmで作り、あとから削って平な5mmにするしかない。
→歩留まりも悪く、材料費が倍掛かる。
【解決】反らない!変形しない!
サファイア製セッターに変更することで、変形(反り)が発生しなくなります。
酸化物ターゲットメーカー様でサファイア製セッターをご使用頂き、ターゲットが変形するといった不具合を解決致しました。
結果として、材料の削減、削ると言った工程削減に貢献致しました。
問題解決2:製品性能の向上
【高純度パウダー製造メーカー様】

【顧客課題】
蛍光体や、燃料電池用の正極材等のパウダーを製造する際の焼成工程(アニール)で、セラミックセッター(アルミナセッター)上で焼成した際、セッターから不純物(カルシア、シリカ)が出てきて困る。また、その不純物が高温焼成時に分解し、製品へ混入(含浸)するといった不具合が発生する。
→製品の品質低下につながるため、製造した高純度パウダーの一部を削り取らなければならない。
【解決】不純物が混入しない
サファイア製セッターは単結晶であるため、化学的にも非常に安定した素材となっています。高温時は1900℃まで使用可能となっており、塩酸、硝酸、リン酸、硫酸といった酸にも反応することなくご使用することが可能です。
製品への不純物の混入を防ぎ、歩留まり改善、製品品質の向上のお役に立ちます。
また、サファイア製セッターは再研磨、洗浄が可能です。再利用したり、長く高品質にご使用頂くことが可能です。
熱処理(アニール処理)工程を行うセラミックス製造、スパッタリングターゲット製造、高純度パウダー製造、化学薬品製造メーカー様の形状変形、不純物混入といったお悩みを解決致します。
お気軽にお問い合わせください。