当社では、高硬度なサファイア素材の研磨技術を活かし、窒化アルミセラミックス、アルミナセラミックス、ジルコニアセラミックスといった各種素材の受託研削･研磨を承っております。その他窒化ガリウム（GaN）、窒化アルミ（AlN）、酸化亜鉛（ZnO）、酸化ガリウム（Ga2O3）、イットリウム・アルミニウム・ガーネット（YAG）などの単結晶の研磨も対応可能です。上記以外でも対応させて頂きますので、是非お問い合わせ下さい。その他穴あけ加工（ドリル・レーザー）や接合（原子間接合）、裏面研磨、フルカットからハーフカット（溝加工）といったダイシング加工も対応可能です。
単結晶素材につきましては、ウェハ･基板加工（オリフラ加工･オフ角調整）にも対応しております。
| お問い合わせ |
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事前テストサンプル |
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受託加工 |
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製品出荷 |
| 素材ご支給 |
| 単結晶 |
- 窒化ガリウム（GaN）
- 窒化アルミ（AlN）
- 酸化亜鉛（ZnO）
- 酸化ガリウム（Ga₂O₃）
- 各種単結晶
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| 多結晶 |
- 窒化アルミ（AlN）セラミックス
- 炭化ケイ素（SiC）セラミックス
- アルミナセラミックス
- ジルコニアセラミックス
- 窒化ケイ素（Si₃N₄）
- 各種セラミックス
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| 研削・研磨 |
- オリフラ加工
- オフ角度調整
- 表面研磨
- 裏面研磨
- 外周加工
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| 測定・検査 |
- 原子間力顕微鏡（AFM）
- 形状測定機（フラットネステスター）
- カソードルミネッセンス（CL）
- 全反射蛍光X線（TXRF）
- バーティクルカウンター
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※各種工程のみの対応もさせて頂いておりますので、是非ご相談下さい。
受託加工例
| 加工名 |
仕様 |
被加工物 |
加工精度 |
| 最大大きさ |
最大厚さ |
| 切断 |
外周刃切断機（スライサー） |
□200mm |
5mm |
±0.5mm |
| 内周刃切断機 |
φ8 インチL150mm |
10mm 程度 |
±0.1mm |
| ワイヤー切断機 |
φ8 インチL300mm |
3mm |
±0.03mm |
| ダイサー |
□150mm |
1.5mm |
±0.02mm |
| 表面研削 |
平面研削盤( サーフェース) |
600×300mm |
200mm |
0.03mm |
| 横型研磨盤 |
φ5 インチ |
50mm |
±0.01mm |
| 縦型研磨盤( 縦スライス) |
φ8 インチ |
100mm |
| 両面ラップ機 |
φ12 インチ |
30mm |
| 外周研削 |
円筒研削 |
φ8 インチ |
300mm |
±0.01mm |
| センターレス研削 |
L150mm |
20mm |
0.01mm |
| NC 加工機 |
φ300mm |
※加工内容に依存( 別途ご相談ください) |
| 表面研磨 |
両面ラップ機( ダイヤ・CMP ) |
φ12 インチ |
30mm |
±0.005mm |
| 片面研磨機 |
φ6 インチ |
50mm |
| 穴あけ |
マイクロドリル |
φ12 インチ |
10mm |
φ±0.25mm |
| レーザー加工機 |
φ6 インチ |
下記参照 |
