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世界初 大型12インチ 高品質サファイア基板の発売開始

大口径サファイア基板
   最終更新日:    公開日: 2022/11

アダマンド並木精密宝石(東京都足立区、代表取締役社長 並木里也子)は、大型サファイア12インチ基板(φ300)のテスト販売を開始致しました。

サファイアは、LED照明の光源である下地基板として使用されてきましたが、近年では半導体市場からの需要も増え、Si(シリコン)基板と同様に大型基板(12インチ)のニーズが高まってきています。Si(シリコン)基板との貼り合わせや、搬送用治具などの用途のほか、エピタキシャル成長用としての需要を見据え、従来のサファイア基板製造技術と経験を活かし12インチの大型サファイア基板の製造に成功しました。

当社は、更なる高品位なサファイア基板の製造に数年前から着手し、大型基板、基板表面の清浄度、形状制御に関する技術改善を進め、2インチから12インチまでのサイズをエピタキシャル成長用基板として販売しています。

左から2インチ、4インチ、6インチ、8インチ、12インチ サファイア基板

特徴

1. 世界初 エピタキシャルウェハグレード、ヘテロ成長が可能

2. サファイア基板表面のパーティクル(ゴミや汚れ)が極限まで少ない当社のPrime基板は、2インチから8インチまでのサイズでは、0.3µm以上の大きさのパーティクルが、2インチあたり50個以下、主要金属(K Ti Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn)については、2E10/cm2以下の基準で管理しており、12インチ基板においても同等のPrimeグレードを達成する見込み

3. 12インチ半導体製造プロセス用のキャリアウェハ(装置内搬送トレイ)や、貼り合せ用基板として使用可能

4. 凹面、凸面の形状制御が可能

本件に関するお問い合わせ先

アダマンド並木精密宝石株式会社 精密宝石事業部
TEL:03-3919-2200

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