内径測定機器とは

測定機の特長、測定原理を解説　（内径測定機器、真円度・円筒形状測定機、三次元形状測定機、表面粗さ測定機、外観欠陥検査装置）

最終更新日:2024/01/31 公開日:2021/12/14 2021/12

穴の内径を測定する方法には、接触式と非接触式で行うものがあります。接触式のものは、ピンゲージ、キャリパーゲージ、ホールテスト、接触式変位センサーなどが従来から使用されてきました。接触式の測定では、測定子が穴内部に接触するので傷をつける可能性があり、高精密加工が必要な部品などの測定には向きません。

非接触式では、光学式測定顕微鏡や投影機などにより、穴を透過して測定する方法があります。穴を透過して測定する方法は、穴端部の内径のみが測定でき、穴内部の測定には向きません。薄い測定物に開けられた穴の測定や、穴端部の形状確認などに用いられます。

穴内部の内径も測定できる非接触式の測定では、エアマイクロセンサを用いたものがあります。ノズルのついた測定子を穴に挿入し、圧力の変化で内径を測定します。穴の平均内径などを測定する場合は、複数のノズルが必要です。より高精度で安定した穴内部の内径測定では、レーザー変位計、光干渉計などの光学式センサーが用いられます。測定では、センサーが取り付けられた測定子を穴の内部に挿入し、非測定物か測定子を回転させて測定を行います。光学式センサーを用いた内径測定では、穴の最大最小内径や内部形状などを、広い範囲で測定することが可能です。

Orbrayの光干渉式内周面精密測定機は、専用測定機を使って別々に測定しなくてはいけなかった内径、真円度、表面粗さ・三次元形状を非接触同時測定することが可能です。
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