フェムト秒レーザーと他のレーザーとの加工結果の比較
フェムト秒レーザーは超微細加工のできる強力なツールです。ここではフェムト秒レーザー加工技術の特徴をわかりやすくご説明します。
フェムト秒レーザーのパルス幅と他レーザーとの比較
フェムト秒レーザーはパルス幅が～100fs（1fs=10-15s）と極端に短いため、熱影響が無い加工が可能です。今回はこれを実感していただくために、他のレーザーとの比較をしてみました。様々なレーザーで溝を形成した後に、電子顕微鏡で観察したのが下の写真です。
材質１：ステンレス
YAGレーザー
パルス幅40ns 波長1064nm
YAGレーザー
パルス幅40ns 波長532nm
材質２：真鍮
YAGレーザー波長1064nm、532nmでもトライしましたが、反射が大きく加工できませんでした。
YAGレーザー
パルス幅10ns 波長355nm
フェムト秒レーザーではデブリが無く、表面がきれいな状態であるのが分かると思います。一方、他のレーザーでは表面が溶けて盛り上がったり、デブリが飛び散って表面に付着したりしているのが分かります。またステンレスを波長532nmのYAGレーザーで加工した溝には、溝の周りに色の変化した熱影響層があるのが分かります。
このようにフェムト秒レーザーでは熱影響の無いきれいな加工ができるのを実感していただけたと思います。
当社のフェムト秒レーザー加工のページでは、事例も交えてフェムト秒レーザーについて更に詳しくご説明しております。合わせてご覧ください。
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